专利摘要显示，本适用新型公开了一种柔性从动化硅片抓手夹具，属于硅片抓手夹具手艺范畴，包罗抓手部，当两个抓抄本体相向活动时，对硅片抓取，当两个抓抄本体反向活动时，对硅片铺开；驱动部，所述驱动部包罗驱动器取驱动件，将两个抓抄本体相向活动或反向活动；毗连部，所述毗连部将所述驱动件取所述抓抄本体毗连。本适用新型的驱动器采用电机节制，可以或许无效精准节制抓抄本体的度，并及时反馈具体数据，通过参数化调整，能够实现抓抄本体正在肆意停靠，以满脚对分歧规格尺寸的硅片进行抓取，大大缩短了出产节奏。

　　金融界2025年3月18日动静，国度学问产权局消息显示，授权通知布告号 CN 222619737 U，申请日期为2024年4月。

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2025-05-20 15:04